设备分类编码: 120301

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-69918562

电子邮箱: zkui1939@163.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 张奎

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电路板制造工艺实验设备

规格型号: Z550S

所属科研设施:

主要功能: 本底真空可达1×10-4Pa,可进行大面积沉积镀膜。

主要技术指标: 本底真空可达1×10-4Pa

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: