设备分类编码: 120404

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 工程与技术科学基础学科, 材料科学, 机械工程, 航空、航天科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-54742261

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联系人: 李戈扬

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>热处理加工工艺实验设备

规格型号: SPC-350

所属科研设施:

主要功能: 各种金属薄膜，陶瓷薄膜，纳米多层薄膜，纳米复合薄膜制备

主要技术指标: 可达最高真空度：9x10-5Pa， 3个Ф75mm靶（2RF（600W）+1DC(2000W)），最高加热温度：800℃，基片架最高转速100rpm.

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: