设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 能源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-39194932

电子邮箱: zhaojun@sinap.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 赵俊

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: BCS-5004

所属科研设施:

主要功能: 主要用于介质薄膜材料（氮化硅、氧化硅等）的高速精确沉积

主要技术指标: 氮化硅和氧化硅的薄膜沉积均匀性优于3%

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: