设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070

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联系人: 殷伟君

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: 32SPAW

所属科研设施:

主要功能: 材料加工

主要技术指标: 抛光后单片厚度差在5μm之内，卷曲在15μm之内；同一批次内wafer中心点厚度差在5μm之内；批与批次间wafer中心点厚度差在10μm之内；设备不影响表面质量

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: