设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65643659

电子邮箱: zzzhang@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市杨浦区邯郸路220号，复旦大学光学楼511

邮政编码: 200433

联系人: 张宗芝

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: KJLC CMS-18

所属科研设施:

主要功能: 1、包括真空腔体，含高真空的主腔（溅射成膜之用）和预真空腔（load-lock，用于样品传送，兼顾Al的自然氧化成为Al2O3隧穿势垒层）。其中主腔的极限真空1？10-8 Torr。2、主腔内含有六个溅射枪（其中三个可溅射磁性材料），及直流和射频电源。

主要技术指标: 1、包括真空腔体，含高真空的主腔和预真空腔。其中主腔的极限真空1？10-8 Torr。2、主腔内含有六个溅射枪（其中三个可溅射磁性材料），及直流和射频电源。

安放地址: 复旦大学光学楼201

服务内容: 薄膜样品制备

服务的典型成果: 完成科学研究，发表论文及专利等

对外开放共享规定: 需提前预约，联系方式：65643659，zzzhang@fudan.edu.cn

参考收费标准: 500-800元/小时