设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-52413503

电子邮箱: wangzheng@mail.sic.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 汪正

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: LSX-213 G2

所属科研设施:

主要功能: 适用于与 ICP-MS和ICP联用的激光剥蚀系统，对非金属材料进行剥蚀

主要技术指标: 特征分析面积<5μm，宽泛的剥蚀斑点范围5~300mm，10倍变焦范围（8mm至800μm）

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: