设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 物理学, 材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 彭炜

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MJCD4C2RSH001

所属科研设施:

主要功能: 可对2-6英寸晶圆及10-50mm方片进行全自动匀胶、烘烤及显影。

主要技术指标: 配备盒站、传输、对准、匀胶、显影、烘烤、HMDS、化学品供应系统、控制及排液单元；支持2英寸~6英寸标准圆形基片以及20mm~50mm方形基片；3路光刻胶、2路显影液管路；chuck最高转速6000rpm；热板最高温度250度；具备背洗、边缘清洗、nozzle/chuck自动清洗功能；6英寸晶圆片内和片间匀胶均匀性≦1.5%，显影均匀性≦2%。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: