设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65642222

电子邮箱: qqsun@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市邯郸路220号

邮政编码: 200433

联系人: 孙清清

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: Aarhus 150-MBE-BO-III-V-4Z/Multiprobe 2/2 HRSEM

所属科研设施:

主要功能: 仪器仪表、计量标准器具及量具、衡器

主要技术指标: 仪器仪表、计量标准器具及量具、衡器

安放地址: 上海市邯郸路220号

服务内容: 薄膜制备、薄膜成分测量

服务的典型成果: 暂无

对外开放共享规定: 按实验室统一规定

参考收费标准: 3000/样品