设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65642177

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邮政编码:

联系人: 陆明

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: BMDE500, 6靶 10-5pa

所属科研设施:

主要功能: 制备光学功能薄膜

主要技术指标: 1. 极限真空5x10(-5) Pa; 2. 膜厚可程控，控制精度0.1nm； 3. 电子束蒸发（电子枪5kW); 4. 热蒸发 (2kW)

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: