设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-52411028

电子邮箱: p-jin@mail.sic.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 金平实

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: ACS-4000-4C

所属科研设施:

主要功能: 各种材料的制备，主要用于磁控溅射制备薄膜

主要技术指标: 最大温度800度，最大功率300W，有4个靶

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: