设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 物理学, 材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070

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联系人: 彭炜

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: ei-5

所属科研设施:

主要功能: 可实现金属（Ti、Au、Ag、Al、Mo）和非金属（SiO）的电子束蒸发或热蒸发镀膜 具有原位离子束清洗功能 衬底加热功能

主要技术指标: 系统极限真空度≤1？10-5 Pa 电子束蒸发配备6个坩埚，热蒸发配备2个舟型电极 5个样品装载转盘，最大支持6英寸晶圆 衬底红外加热，最高温度≥150oC

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: