设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-69918251

电子邮箱: wlzhang@siom.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 张伟丽

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: SYRUSpro 1110 DUV

所属科研设施:

主要功能: 可以制备深紫外薄膜、可见和近红外光学薄膜

主要技术指标: 极限真空＜5*10-5Pa；从大气到8*10-4Pa小于45分钟；薄膜均匀性优于1%；光学监控波长到深紫外

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: