设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 地球科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 彭炜

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: SAMCO 10NR

所属科研设施:

主要功能: NbN,Nb/Al/Nb薄膜的刻蚀

主要技术指标: 射频发生器输出功率1KW；抗腐蚀分子泵；具备含氟废气处理功能；具备刻蚀结束监视功能End point Detector；极限真空度优于8 *10-4 Pa；4路气体导入；最大基板尺寸8英寸；刻蚀均匀性：片内和同批次片间均优于？5%（4英寸）。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: