设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65648597

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联系人: 张立建

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: ELPHY Plus

所属科研设施:

主要功能: 扫描电镜是一般实验室中的常用设备，在一定的条件下，这些扫描电镜配备上Raith的图形发生器Elphy Quantum或Elphy Plus，即具备了控制电子束描绘图形的功能，如果再配上激光干涉定位的精密工件台，则可拼接较大范围的图形。

主要技术指标: 最高扫描频率6MHz *电子束驻留时间最小增量2ns *图像采集；光闸控制信号和一体化软件 *可选配激光干涉定位的精密工件台

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: