设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-52411418

电子邮箱: caofei@mail.sic.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 曹菲

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: MSP-400BT

所属科研设施:

主要功能: 主用用于非金属材料镀膜制备

主要技术指标: 溅射靶规格：Φ100mm、Φ150mm、Φ200mm；磁控靶安装形式：下置垂直安装，自下而上溅射；溅射不均匀性：±3%～±5%

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: