设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-51630263

电子邮箱: lifengyin@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市邯郸路220号物理楼243

邮政编码: 200433

联系人: 殷立峰

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: Custom PLD

所属科研设施:

主要功能: 本系统能研究低维度下复杂氧化物体系的表面和界面，以及空间束缚状态下的性质。使我们能够在微观尺度上重新审视锰氧化物金属绝缘体相变的各种现象。其中一套脉冲激光分子束外延与变温扫描隧道显微镜大型联机系统，主要做原位分析测量；另外两套将是独立的脉冲激光分子束外延生长设备，用于制备锰氧化物单晶薄膜以及锰氧化物超晶格薄膜样品，然后利用光刻技术制备纳米线，量子点等，测试其在空间束缚下的物理性质。

主要技术指标: (1)每台真空腔的极限本底真空　< 3 　 10-10 Torr。 (2) PLD腔需带臭氧发生器; 臭氧工作气压　>　1 　 10－3 Torr; 臭氧纯度 > 13%; 臭氧导引管需安装在compact Z stage, 移动范围2英寸。　 (3) PLD 腔带有6个1英寸靶源, 靶的自转速度 > 10 rpm，可用步进电动机进行靶源切换，带水冷装置，靶垂直方向移动范围２英寸。 (4)样品架的Z方向移动范围为2英寸；x,y方向移动范围为0.5英寸；360o 主轴转动；>±30o面内转动；兼

安放地址: 江湾先材楼309

服务内容: 委托测试：送样人按规定做好样品预处理，提供分析测试条件，仪器管理员按照委托的要求，负责测试并提供测试结果； 在场测试：经允许后，送样人在测试现场观察过程，可视在场测试情况向仪器管理员提出按需改变实验条件的要求，但送样人不直接操作仪器，仍由仪器管理员负责测试并提供测试结果。

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 重点实验室欢迎校内外其它单位或个人利用本实验室仪器、设备进行科学研究。同时，为社会提供分析检测等科技服务。为了规范管理，管理方向使用方收取一定管理、运行费用。 重点实验室负责仪器、设备管理和使用的人员不得以任何个人理由拒绝为使用者服务，确因缺乏仪器组件或设备故障等原因不能提供服务时，应向使用者耐心说明，通过彼此沟通、相互协商、共同努力解决问题。在节假日使用仪器，应事先提出申请，以便实验室安排。

参考收费标准: 对外开放相关收费标准，为用户提供服务时收取的费用，按照单位已有收费标准