设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62762722

电子邮箱: xusy@pku.edu.cn

通讯地址: 颐和园路5号北京大学信科学院微纳加工实验室(校级公共平台)

邮政编码: 100871

联系人: 许胜勇

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: PVD75

所属科研设施:

主要功能: 直流溅射靶250W/2"，强磁直流溅射靶250W/2"，射频溅射靶150W/2"。制备各类单金属薄膜、合金薄膜、磁性薄膜、氧化物薄膜等。服务于各种需要蒸镀薄膜的薄膜研究项目和器件研究项目。

主要技术指标: 直流溅射靶250W/2"，强磁直流溅射靶250W/2"，射频溅射靶150W/2"。

安放地址: 颐和园路5号北京大学理科2号楼天井

服务内容: 直流溅射靶250W/2"，强磁直流溅射靶250W/2"，射频溅射靶150W/2"。制备各类单金属薄膜、合金薄膜、磁性薄膜、氧化物薄膜等。服务于各种需要蒸镀薄膜的薄膜研究项目和器件研究项目。

服务的典型成果: 涉及项目约十个，其中包括： 国家重点基础研究发展计划973项目，2012CB932700，“新型高性能半导体纳米线电子器件和量子器件”，起止年月：2012.01-2016.12 国家自然科学基金委重点项目，91221202，“纳米线复合量子结构中的电子纠缠及其器件研究”，起止年月：2013.01-201,杨勇（2007-2012，博士） 庄虔伟（2009-2012，硕士）

对外开放共享规定: 《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。

参考收费标准: 700/4小时，详询设备负责人。1200/4小时，详询设备负责人。