设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-55272096

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通讯地址:

邮政编码:

联系人: 张大伟

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: FJL-560

所属科研设施:

主要功能: 磁控溅射镀膜

主要技术指标: 系统极限真空、6.67*10（-5）pa，4套磁控溅射耙，辅助沉积离子枪、四工位转耙、600W射频电源

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: