设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62757139

电子邮箱: hypan@pku.edu.cn

通讯地址: 颐和园路5号北京大学信科学院微纳加工实验室(校级公共平台)

邮政编码: 100871

联系人: 潘华勇

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: Minilock

所属科研设施:

主要功能: 最大晶片尺寸：4英寸，6路工艺气体，7路工艺气体，各路气最大流量如：N2=200 Sccm；BCl3=89；O2=98；Cl2=43； Ar=140；CF4=84；SF6=53。Max. ICP RF(w) 1250w；RIE RF 600w。适用于刻蚀Si，SiO2，Al2O3以及石墨等材料，主要应用于微纳器件的加工。

主要技术指标: 最大晶片尺寸：4英寸，6路工艺气体，各路最大流量分别为：200sccm，89sccm，98sccm，140sccm，84sccm，53 sccm。

安放地址: 颐和园路5号北京大学理科2号楼中央天井

服务内容: 最大晶片尺寸：4英寸，6路工艺气体，7路工艺气体，各路气最大流量如：N2=200 Sccm；BCl3=89；O2=98；Cl2=43； Ar=140；CF4=84；SF6=53。Max. ICP RF(w) 1250w；RIE RF 600w。适用于刻蚀Si，SiO2，Al2O3以及石墨等材料，主要应用于微纳器件的加工。

服务的典型成果: 科技部重大研究计划纳米专项：碳基无掺杂纳电子器件和集成电路； 973国家重大研究计划纳米研究项目：新型高性能半导体纳米线电子器件和量子器件,20 名研究生；

对外开放共享规定: 《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。

参考收费标准: 非氯基工艺：校外630元/小时。氯基工艺视具体情况定价。非氯基工艺：校外630元/小时。氯基工艺视具体情况定价。