设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62752081

电子邮箱: shlyue@pku.edu.cn

通讯地址: 颐和园路5号北京大学信科学院微纳加工实验室(校级公共平台)

邮政编码: 100871

联系人: 岳双林

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MJB4

所属科研设施:

主要功能: 曝光波长：UV400；曝光面积：4英寸；分辨率：0.8μm；套刻精度：±0.5μm；光强均匀度：±4％；曝光方式：硬接触、软接触，接近和4种模式；倒计时曝光。紫外光刻机是采用掩膜对准技术，对光刻胶进行曝光再经过显影等处理步骤，在样品上形成亚微米精细图形，主要应用于各类科技中的细微图形加工，利用其高精度曝光和套刻功能实现多种微纳器件制作。

主要技术指标: 曝光波长：UV400;曝光面积：4英寸；分辨率：0.8μm;套刻精度：±0.5μm;光强均匀度：±4％；曝光方式：硬接触、软接触，接近和4种模式；倒计时曝光

安放地址: 颐和园路5号北京大学理科2号楼微纳加工室

服务内容: 曝光波长：UV400；曝光面积：4英寸；分辨率：0.8μm；套刻精度：±0.5μm；光强均匀度：±4％；曝光方式：硬接触、软接触，接近和4种模式；倒计时曝光。紫外光刻机是采用掩膜对准技术，对光刻胶进行曝光再经过显影等处理步骤，在样品上形成亚微米精细图形，主要应用于各类科技中的细微图形加工，利用其高精度曝光和套刻功能实现多种微纳器件制作。

服务的典型成果: 研究生培训

对外开放共享规定: 《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。

参考收费标准: 校内现行收费标准：600元/小时（独立操作300元/小时） ，校外现行收费标准：1200元/小时（独立操作600元/小时）