设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学, 能源科学技术]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 曹欣

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: FZJ55C01

所属科研设施:

主要功能: 以磁控溅射法制备各种功能膜

主要技术指标: 溅射室极限真空度：≤1X10-5Pa (经烘烤除气后)； 蒸发室极限真空度：≤2X10-7Pa (经烘烤除气后) 进样室极限真空度：≤6.67X10-4 Pa (经烘烤除气后) 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S； 系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气： 溅射室40分钟可达到6.6X10-4 Pa； 蒸发室40分钟可达到6.6X10-4 Pa； 进样室40分钟可达到6.6X10-3 Pa； 溅射室停泵关机12小时后真空度：≤1 Pa； 蒸发室停泵关机12小时后真空度：≤0.5 Pa； 进样室停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: