设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-55270632

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联系人: 王现英

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: Quanta 3D FEG

所属科研设施:

主要功能: 微纳加工、微纳结构观察及分析，高质量定点TEM样品制备。要求具备离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积功能；可进行纳米结构的电子束曝光加工；高分辨扫描电镜功能可对离子束加工试样进行实时观测。

主要技术指标: 离子束最大束流强度65nA ，离子束最大束流密度60A/cm2，在30kV工作电压下，交叉点分辨率≤ 7nm，配备纳米操纵手及5种以上的工作气体。电子束最大束流200nA，在高真空30KV工作电压下分辨率≤ 1.2 nm，电子束与离子束之间能够快速切换。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: