设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 冶金工程技术, 机械工程, 能源科学技术, 航空、航天科学技术, 环境科学技术及资源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-56978330

电子邮箱: ybc2001@vip.sina.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 池永斌

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: EVO18

所属科研设施:

主要功能: 在失效分析中，除了金属样品外，还有很多非金属样品，这些样品导电性很差。要分析这些非导电样品，样品的充电是不可避免的。由于电子束打到样品上使样品带电，其产生的电场影响了二次电子的产生和接收，使图像上呈现一片片亮的或暗的区域，无法进行正常观察。要对这些非导电样品进行分析，就必须排除样品充电的影响。其方法之一就是将样品上的电荷中和掉。ZEISS扫描电镜所采取的措施是：使样品室处于低真空状态，样品表面所产生的二次电子与样品室中的气体分子相碰撞，使气体电离，这些气体离子附着于样品表面，将样品上所带的电荷中和掉。使用

主要技术指标: ZEISS扫描电镜采用通用的镜体设计，可配备各种不同的附件，适应各种分析的需要。并具有灵活的可升级性，可按照用户研究工作发展的需要进行升级。各种类型的扫描电镜均有高真空、低真空（或超低真空）型号，以满足不同样品检测的需要。 高分辨率 ： 目前，钨灯丝扫描电镜的分辨率达到3nm，能够满足失效分析、材料研究等方面的需要。 大样品室：ZEISS扫描电镜具有世界上最大的样品室，样品室内部尺寸为Φ365mm×275mm，全对中的样品台，可放置的最大样品尺寸为Φ250mm×145mm，样品台最大承载重量为5kg，方便各种大样品的分析。 高效无污染真空系统： ZEISS各种型号的扫描电镜均采用了涡轮分子泵抽真空，其抽真空速度快、无污染、免维护是其最大的优势。还可提供无油的真空系统。 自动化操作： 新型的扫描电镜全部采用当前最先进的计算机集成自动化控制，采用Windows视窗操作系统、图形用户控制界面，全部操作可用键盘和鼠标完成。样品台坐标轴全部马达驱动，软件功能强大，操作非常简单和方便。 ZEISS的钨灯丝扫描电镜可以提供高真空、低真空和超低真空工作模式，对任何材料都没有局限性，满足金属、陶瓷、地矿、化工、半导体、生命科学等所有研究领域需要。其超大样品室预留足够端口，可搭配能谱、波谱、背散射电子衍射、阴极荧光等，样品台可装加热台、冷却台和拉伸台以满足各种研究需要。其大束流和优异的束流稳定度支持各种大束流和长时间的分析。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: