设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62754775

电子邮箱: liangxl@pku.edu.cn

通讯地址: 颐和园路5号北京大学信科学院微纳加工实验室(校级公共平台)

邮政编码: 100871

联系人: 董立军

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: Savannah

所属科研设施:

主要功能: Input Voltaye：100-120VAC。通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应腔使之在基体上化学吸附并反应形成沉积膜的一种技术，可以以单原子膜形式一层一层地在基底表面沉积薄膜。

主要技术指标: Input Voltaye：100-120VAC。

安放地址: 颐和园路5号北京大学理科2号楼超净室

服务内容: Input Voltaye：100-120VAC。通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应腔使之在基体上化学吸附并反应形成沉积膜的一种技术，可以以单原子膜形式一层一层地在基底表面沉积薄膜。

服务的典型成果: 科技部纳米专项项目2011CB933000,博士4人，硕士3人

对外开放共享规定: 《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。

参考收费标准: 400元开机费和15nm以下镀膜，15纳米以上另加20元/纳米，20纳米以上另加30元/纳米1200元开机费和15纳米以下镀膜，15纳米以上另加60元/纳米，20纳米以上加90元/纳米。