设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-55272982

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 李毅

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MJB4

所属科研设施:

主要功能: 讲掩模板上图形转移到光刻胶上

主要技术指标: 分辨率：0.8μm@UV400

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: