设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62755827

电子邮箱: zyzhang@pku.edu.cn

通讯地址: 颐和园路5号北京大学信科学院纳米器件物理与化学教育部重点实验室

邮政编码: 100871

联系人: 董立军

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: AXXIS

所属科研设施:

主要功能: 电子束蒸发，带预抽室，主真空室真空10-8Torr。304SS18"diameter by 15"deep Poocess chamber,1500L/S Cryopnmp. 蒸镀各种金属。

主要技术指标: 电子束蒸发，带预抽室，主真空室真空10^(-8)Torr。304SS18"diameter by 15"deep Poocess chamber.304SS18"diameter by 15"deep Poocess chamber, 1500L/S Cryopnmp.

安放地址: 颐和园路5号北京大学理科2号楼2011

服务内容: 电子束蒸发，带预抽室，主真空室真空10-8Torr。304SS18"diameter by 15"deep Poocess chamber,1500L/S Cryopnmp. 蒸镀各种金属。

服务的典型成果: 国家重大科学研究计划"纳米研究"项目，2011CB933000,博士生5人，硕士4人

对外开放共享规定: 《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。

参考收费标准: 500元开机费，Sc、Au、Pd、Pt膜厚小于50纳米收费500元，超过50nm以上部分每超出10纳米增加100元，Cr厚度小于50纳米收费300元，超过50nm以上部分，每10纳米1000元/纳米。