设备分类编码: 100399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 工程与技术科学基础学科, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62755266-114

电子邮箱: xujun@pku.edu.cn

通讯地址: 颐和园路5号北京大学物理学院电子光学与电子显微镜实验室（校级公共平台）

邮政编码: 100871

联系人: 徐军

仪器所属类别: 核仪器>>离子束分析仪器>>其他

规格型号: STARTA DB235

所属科研设施:

主要功能: 仪器主要功能（Functions）： (1)用离子束刻蚀、沉积(金属)纳米级线条和图形；

主要技术指标: "电子束分辨率（Resolution）：3 nm@1 KV，<3 nm @30 KV；离子束分辨率：<7 nm@30 KV；沉积金属铂（Pt）；金属和非金属增强刻蚀。 "

安放地址: 颐和园路5号北京大学物理楼电镜室119

服务内容: 仪器主要功能（Functions）： (1)用离子束刻蚀、沉积(金属)纳米级线条和图形；

服务的典型成果: “基于电子显微术与探针显微术的原位生长-动态表征-性能测量的方法及其在材料研究中的应用”“973研究计划”； “石墨烯二维电子气的量子输运性质研究”“973”计划； “LI-InGaN/InGaN复合阱结构对大功率LED效率骤降的改善研究”“973”计划；2007获国家自然科学二等奖，“功能准一维半导体纳米结构与物理研究”（俞大鹏，冯孙齐，徐军，薛增权）每年培训具有独立上机操作仪器的学生约30人,

对外开放共享规定: 《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。

参考收费标准: 离子束 (I-Beam)：600元/小时；2000元/小时