设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 生物学, 材料科学, 电子与通信技术, 环境科学技术及资源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-64101616-225

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联系人: 周伟民

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: Micro System350 RIE

所属科研设施:

主要功能: 刻蚀Si及光刻胶等常用半导体材料。

主要技术指标: N2 O2 Ar CF4 SF6 He 6种气体，气体流量 功率0～300w 真空度 0E-6 刻蚀时间 可调 RF power 可调 ECR 可调

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: