设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 生物学, 材料科学, 能源科学技术, 电子与通信技术, 环境科学技术及资源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-64101616-226

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联系人: 张静

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: EVG620

所属科研设施:

主要功能: 利用紫外线，将模板上的纳米图形转移至光刻胶上。

主要技术指标: X Wafer sizes up to 150 mm X High throughput mask aligner with >130 wafers per hour (first print, 1s exposure time) X High degree of automation (multiple send/receive cassettes) X Handling of multiple wafer sizes with quick change-over time X Soft-, hard-, vacuum contact and proximity exposure X Unique wedge compensation system X Easy to use Windows based operation X Easily field upgraded from manual to auto-load auto-alignment

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: