设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [工程与技术科学基础学科, 材料科学, 能源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88728328

电子邮箱: wangjm@sderi.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 王建梅

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: SF-100

所属科研设施:

主要功能: 应用于微流控芯片制作

主要技术指标: 1、分辨率：1μm 2、验收线宽：1μm 3、最大书写区域：100mm*100mm 4、具有对位套刻能力，套刻对准精度优于0.5μm 5、支持SU8厚膜光胶直写能力，膜厚≥25um 6、具有128级灰度曝光的3D曝光模式

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: