设备分类编码: 019900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070

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联系人: 彭炜

仪器所属类别: 分析仪器>>其他>>其他

规格型号: KLA-Tencor P16+

所属科研设施:

主要功能: 用于样品表面的两维和三维形貌测试 用于台阶厚度测量 用于样品表面粗糙度测量 用于二维、三维薄膜应力测量（Apex 2D/3D分析软件）

主要技术指标: Z方向范围:0-327μm，精度≤0.1 nm 台阶高度重现性≤6 ？ 探针半径2？m，压力0.5 - 50mg可调、可恒定压力控制 单次扫描长度最大80mm 8英寸样品台

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: