设备分类编码: 990000
仪器设备分类:
主要学科领域: []
仪器设备来源: 其它
联系电话: 88235843
电子邮箱: zhuxm@ihep.ac.cn
通讯地址: 北京市918信箱
邮政编码: 100049
联系人: 朱学敏
仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他
规格型号: 非标
所属科研设施:
主要功能: 提供纳米光刻扫描光斑,以及深度同步辐射光刻样品扫描。3B1束线经过了多次改造,目前分为LIGA深度光刻的3B1A束线和纳米光刻的3B1B束线,而LIGA束线为新增加束线。
主要技术指标: 无
安放地址: 北京市北京市海淀区无
服务内容: X射线及紫外光曝光
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 遵照中国科学院对外开发统一管理规定
参考收费标准: 分析项目:X射线及紫外光曝光,分析标准:光刻系统,前处理标准:用户指定,前处理收费(院外):0,分析收费(院外):0;