设备分类编码: 990000

仪器设备分类:

主要学科领域: []

仪器设备来源: 其它

联系电话: 88235843

电子邮箱: zhuxm@ihep.ac.cn

通讯地址: 北京市918信箱

邮政编码: 100049

联系人: 朱学敏

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: 非标

所属科研设施:

主要功能: 提供纳米光刻扫描光斑，以及深度同步辐射光刻样品扫描。3B1束线经过了多次改造，目前分为LIGA深度光刻的3B1A束线和纳米光刻的3B1B束线，而LIGA束线为新增加束线。

主要技术指标: 无

安放地址: 北京市北京市海淀区无

服务内容: X射线及紫外光曝光

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 遵照中国科学院对外开发统一管理规定

参考收费标准: 分析项目:X射线及紫外光曝光,分析标准:光刻系统,前处理标准:用户指定,前处理收费（院外）:0,分析收费（院外）:0;