点击图片查看原图
电子束曝光系统  (收藏)

价格: 暂无价格

暂无服务

立即购买   加入购物车   加入预约

推荐
记录

设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0571-87951628

电子邮箱: qiangli@zju.edu.cn

通讯地址: 浙江省杭州市西湖区浙江大学

邮政编码: 310000

联系人: 龚翰墨

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: ELPHY Quantum

所属科研设施:

主要功能: 基于扫描电镜安装的电子束曝光系统,利用电子束对传统抗蚀剂的曝光作用,加工出图形分辨率高、线条边缘陡直的微纳尺寸图形;它由硬件和软件组成。PC机通过图形发生器和数模转换电路驱动扫描电镜的扫描线圈,使电子束偏转并控制电子束闸的通断,从而实现纳米图形的直接刻写。

主要技术指标: PCI板嵌入系统,2.5 MHz像素到像素频率; 2 *16 bit DAC,10 bit、0.5微秒AD通道用于图像获取; TTL驱动电子束闸控制。

安放地址: 余杭塘路388号

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准:



扫描二维码
关注“智创中国”
全球设备一手掌握。

服务支持 400-0660-652 周一至周日9:00-21:00 售后服务/投诉处理