设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0571-87951628

电子邮箱: qiangli@zju.edu.cn

通讯地址: 浙江省杭州市西湖区浙江大学

邮政编码: 310000

联系人: 龚翰墨

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: ELPHY Quantum

所属科研设施:

主要功能: 基于扫描电镜安装的电子束曝光系统，利用电子束对传统抗蚀剂的曝光作用，加工出图形分辨率高、线条边缘陡直的微纳尺寸图形；它由硬件和软件组成。PC机通过图形发生器和数模转换电路驱动扫描电镜的扫描线圈，使电子束偏转并控制电子束闸的通断，从而实现纳米图形的直接刻写。

主要技术指标: PCI板嵌入系统，2.5 MHz像素到像素频率； 2 *16 bit DAC，10 bit、0.5微秒AD通道用于图像获取； TTL驱动电子束闸控制。

安放地址: 余杭塘路388号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无