设备分类编码: 990000
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [机械工程]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0571-87951628
电子邮箱: qiangli@zju.edu.cn
通讯地址: 浙江省杭州市西湖区浙江大学
邮政编码: 310000
联系人: 龚翰墨
仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他
规格型号: ELPHY Quantum
所属科研设施:
主要功能: 基于扫描电镜安装的电子束曝光系统,利用电子束对传统抗蚀剂的曝光作用,加工出图形分辨率高、线条边缘陡直的微纳尺寸图形;它由硬件和软件组成。PC机通过图形发生器和数模转换电路驱动扫描电镜的扫描线圈,使电子束偏转并控制电子束闸的通断,从而实现纳米图形的直接刻写。
主要技术指标: PCI板嵌入系统,2.5 MHz像素到像素频率; 2 *16 bit DAC,10 bit、0.5微秒AD通道用于图像获取; TTL驱动电子束闸控制。
安放地址: 余杭塘路388号
服务内容: 无
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 无
参考收费标准: 无