设备分类编码: 990000

仪器设备分类:

主要学科领域: []

仪器设备来源: 其它

联系电话: 010-82995892

电子邮箱: youchunjuan@ime.ac.cn

通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

邮政编码: 100029

联系人: 科技处

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: Corial 200IL

所属科研设施:

主要功能: 电感耦合等离子体刻蚀机。可提供2～4英寸以及不规则小面积衬底片刻蚀，可刻蚀材料种类：Si、GaAs、SiC、InP、SiNX 、SiO2、GaN。

主要技术指标: 无

安放地址: 北京市北京市海淀区无

服务内容: 刻蚀

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 遵照中国科学院对外开发统一管理规定

参考收费标准: 分析项目:刻蚀,分析标准:用户指定,前处理标准:用户指定,前处理收费（院外）:0,分析收费（院外）:1000;