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高真空磁控溅射系统  (收藏)

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设备分类编码: 030603

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-87110449

电子邮箱: phlyr@scut.edu.cn

通讯地址: 广东省广州市天河区华南理工大学电信学院

邮政编码: 510640

联系人: 刘玉荣

仪器所属类别: 计量仪器>>声学计量仪器>>气导听力零级基准装置

规格型号: JGP-560b,*

所属科研设施:

主要功能: 制备各种薄膜材料

主要技术指标: 溅射极限真空≤5E-6Pa;系统漏率:5E-7Pa.l/S

安放地址: 五山校区4号楼203房

服务内容: 制备硅、氧化锌等等薄膜材料

服务的典型成果: 发表多篇SCI论文,如:Growth of β-FeSi2 thin film on textured silicon substrate for solar cell application

对外开放共享规定: 实验机时的预约仅接受“网上预约”,请在每周的预约截止时间前提前预约下一周的机时

参考收费标准: 300元/样



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