设备分类编码: 010499
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [信息科学与系统科学, 物理学, 材料科学, 电子与通信技术]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 021-62511070-3305
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联系人: 彭炜
仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>其他
规格型号: SE800DUV
所属科研设施:
主要功能: 薄膜、超薄膜及多层膜的厚度、光学性质(折射率等)进行测量。
主要技术指标: 光谱范围190-930nm,光谱分辨率0.8nm;光源为氘灯(紫外)和卤钨灯(可见光),可自动切换;光斑尺寸1-5mm范围可调;手动调节量角器范围40-90°,步进5°,角度重复性0.02°;自动准直显微镜,50X目镜;自动控制起偏器和检偏器,角度精度0.02°;150mm行程 XY方向自动样品台,高度和倾斜度可调。
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: