设备分类编码: 990000
仪器设备分类:
主要学科领域: []
仪器设备来源: 其它
联系电话: 010-82995892
电子邮箱: youchunjuan@ime.ac.cn
通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029
联系人: 科技处
仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他
规格型号: JEOL JBS5000LS
所属科研设施:
主要功能: 高精度电子束曝光。加速电压: 50 kV;最小束斑尺寸:5nm;极限分辨率:30nm。
主要技术指标: 无
安放地址: 北京市北京市海淀区无
服务内容: 非测试类设备,由于设备实际使用情况不适用于时间预约的,暂用项目预约。
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 遵照中国科学院对外开发统一管理规定
参考收费标准: 分析项目:非测试类设备,由于设备实际使用情况不适用于时间预约的,暂用项目预约。,分析标准:用户指定,前处理标准:用户指定,前处理收费(院外):0,分析收费(院外):0;