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高密度等离子体刻蚀机(纳米区域中心)(三室A)  (收藏)

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设备分类编码: 990000

仪器设备分类:

主要学科领域: []

仪器设备来源: 其它

联系电话: 010-82995892

电子邮箱: youchunjuan@ime.ac.cn

通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

邮政编码: 100029

联系人: 科技处

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: Corial 200IL

所属科研设施:

主要功能: 刻蚀熔石英、介质材料、金、光刻胶。反应气体:SF6、CHF3、O2、Ar、He源RF功率:0~1500W,13.56MHz偏置RF功率0~500W,13.56MHz大小:2”~4”硅片,4”× 4”,以及碎片本底真空:2×10-2Pa刻蚀材料:熔石英、介质材料、金、光刻胶。

主要技术指标:

安放地址: 北京市北京市海淀区无

服务内容: 非测试类设备,由于设备实际使用情况不适用于时间预约的,暂用项目预约。

服务的典型成果:

对外开放共享规定: 遵照中国科学院对外开发统一管理规定

参考收费标准: 分析项目:非测试类设备,由于设备实际使用情况不适用于时间预约的,暂用项目预约。,分析标准:用户指定,前处理标准:用户指定,前处理收费(院外):0,分析收费(院外):0;



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