设备分类编码: 990000

仪器设备分类:

主要学科领域: []

仪器设备来源: 其它

联系电话: 010-82995892

电子邮箱: youchunjuan@ime.ac.cn

通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

邮政编码: 100029

联系人: 科技处

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: Corial 200IL

所属科研设施:

主要功能: 刻蚀熔石英、介质材料、金、光刻胶。反应气体：SF6、CHF3、O2、Ar、He源RF功率：0～1500W，13.56MHz偏置RF功率0～500W,13.56MHz大小：2”～4”硅片，4”× 4”，以及碎片本底真空：2×10-2Pa刻蚀材料：熔石英、介质材料、金、光刻胶。

主要技术指标: 无

安放地址: 北京市北京市海淀区无

服务内容: 非测试类设备，由于设备实际使用情况不适用于时间预约的，暂用项目预约。

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 遵照中国科学院对外开发统一管理规定

参考收费标准: 分析项目:非测试类设备，由于设备实际使用情况不适用于时间预约的，暂用项目预约。,分析标准:用户指定,前处理标准:用户指定,前处理收费（院外）:0,分析收费（院外）:0;