设备分类编码: 990000
仪器设备分类:
主要学科领域: []
仪器设备来源: 其它
联系电话: 010-82995892
电子邮箱: youchunjuan@ime.ac.cn
通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029
联系人: 科技处
仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他
规格型号: Corial 200IL
所属科研设施:
主要功能: 刻蚀熔石英、介质材料、金、光刻胶。反应气体:SF6、CHF3、O2、Ar、He源RF功率:0~1500W,13.56MHz偏置RF功率0~500W,13.56MHz大小:2”~4”硅片,4”× 4”,以及碎片本底真空:2×10-2Pa刻蚀材料:熔石英、介质材料、金、光刻胶。
主要技术指标: 无
安放地址: 北京市北京市海淀区无
服务内容: 非测试类设备,由于设备实际使用情况不适用于时间预约的,暂用项目预约。
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 遵照中国科学院对外开发统一管理规定
参考收费标准: 分析项目:非测试类设备,由于设备实际使用情况不适用于时间预约的,暂用项目预约。,分析标准:用户指定,前处理标准:用户指定,前处理收费(院外):0,分析收费(院外):0;