设备分类编码: 100399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-87236477

电子邮箱: kjc@ceprei.com

通讯地址: 广州市天河区东莞庄路110号

邮政编码: 510610

联系人: 章晓文

仪器所属类别: 核仪器>>离子束分析仪器>>其他

规格型号: V600FIB

所属科研设施:

主要功能: 用于IC失效分析，IC芯片电路修改

主要技术指标: 样品台移动距离：X≥150mm Y≥150mmZ≥10mm;样品台移动最小步长≤0.1μm;离子束最大电流20nA;离子束探针分辨率＜7nm;工作距离≥15mm

安放地址: 401楼

服务内容: 按客户要求

服务的典型成果: 检测报告

对外开放共享规定: 仪器设备服务评价考核办法

参考收费标准: 按服务内容报价