设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 化学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0571-87953365

电子邮箱: chen_ly126@zju.edu.cn

通讯地址: 浙江省杭州市西湖区浙江大学

邮政编码: 310000

联系人: 陈莉英

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: Quanta 3D FEG

所属科研设施:

主要功能: 亚微米和纳米尺度的高精度微纳加工和结构制备

主要技术指标: 可用于电子束高分辨成像（0.8nm@15kv）、离子束高分辨成像（2.5nm@30kv）观察纳米材料的表面形貌，可进行纳米级别复杂图案加工，包括离子束切割、电子束与离子束沉积等，可制备特殊的纳米结构。

安放地址: 余杭塘路388号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无