设备分类编码: 990000
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [物理学, 化学, 材料科学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0571-87953365
电子邮箱: chen_ly126@zju.edu.cn
通讯地址: 浙江省杭州市西湖区浙江大学
邮政编码: 310000
联系人: 陈莉英
仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他
规格型号: Quanta 3D FEG
所属科研设施:
主要功能: 亚微米和纳米尺度的高精度微纳加工和结构制备
主要技术指标: 可用于电子束高分辨成像(0.8nm@15kv)、离子束高分辨成像(2.5nm@30kv)观察纳米材料的表面形貌,可进行纳米级别复杂图案加工,包括离子束切割、电子束与离子束沉积等,可制备特殊的纳米结构。
安放地址: 余杭塘路388号
服务内容: 无
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 无
参考收费标准: 无