设备分类编码: 140101

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 工程与技术科学基础学科]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 028-85101037

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邮政编码:

联系人: 邱传凯

仪器所属类别: 激光器>>激光器>>激光器

规格型号: ISI-2802

所属科研设施:

主要功能: 主要用于研制特殊用途的集成电路，应用高精度的激光束，在涂有光敏抗腐剂的硅片上用电脑任意设计各种集成电路。

主要技术指标: 曝光面积：130mm×135mm；分辨率：1um；套刻精度：0.3um；线条均匀性：±0.1um；步距：0.1,0.2,0.25,0.5um；

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: