设备分类编码: 990000

仪器设备分类:

主要学科领域: []

仪器设备来源: 其它

联系电话: 010-82995892

电子邮箱: youchunjuan@ime.ac.cn

通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

邮政编码: 100029

联系人: 科技处

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: URE-2000/A

所属科研设施:

主要功能: 本设备主要用于紫外接近、接触式光刻制造小规模集成电路、半导体器件、红外器件、微机电系统（MEMS）等，操作方便、稳定、可靠。

主要技术指标: 无

安放地址: 北京市北京市海淀区无

服务内容: 微纳米结构制作

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 遵照中国科学院对外开发统一管理规定

参考收费标准: 分析项目:微纳米结构制作,分析标准:用户指定,前处理标准:用户指定,前处理收费（院外）:0,分析收费（院外）:450;