设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 化学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0571-87952856

电子邮箱: tujp@zju.edu.cn

通讯地址: 浙江省杭州市西湖区浙江大学

邮政编码: 310000

联系人: 涂江平

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: TAJC-700

所属科研设施:

主要功能: 相对于普通磁控溅射镀膜仪，本仪器具有脉冲偏压、矩形靶材和非平衡磁场等优点。脉冲偏压可抵制基体打弧，能承受高达500 V的负偏压，而非平衡磁场和矩形靶材有利于形成更大面积的等离子体，增加反应区域，提高沉积粒子能量和性能均一性，总体上有利于制备具有高硬度的耐磨耐蚀薄膜。

主要技术指标: 极限真空>10-5Pa

安放地址: 余杭塘路388号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无