设备分类编码: 020499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-87237921

电子邮箱: kjc@ceprei.com

通讯地址: 广州市天河区东莞庄路110号

邮政编码: 510610

联系人: 尧彬

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>声学振动仪器>>其他

规格型号: SAM300

所属科研设施:

主要功能: 1、非破坏性、无损伤检测分析半导体器件内部结构； 2、检测分析半导体器件。材料各种缺陷； 3、直观的缺陷图像分析； 4、缺陷的测量及百分比计算。

主要技术指标: 1、频率范围：1-500MHz； 2、可选传感器频率范围：5-500MHz； 3、采用空气磁悬浮结构传动，XY机械扫描分辨率+-0.1μm； 4、扫描范围：最小200*200μm，最大320*320mm； 5、扫描模式：A、B、P、C、D、X、3D及T-scan等。

安放地址: 401楼

服务内容: 按客户要求

服务的典型成果: 检测报告

对外开放共享规定: 仪器设备服务评价考核办法

参考收费标准: 按服务内容报价