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椭圆偏振光谱仪,Ellipsometric spectrometer  (收藏)

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设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 化学, 生物学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0571-88208991

电子邮箱: liuyong.mse@zju.edu.cn

通讯地址: 浙江省杭州市西湖区浙江大学

邮政编码: 310000

联系人: 刘涌

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: GES 5E

所属科研设施:

主要功能: 椭圆偏振光谱仪可以实现无损探测大块材料、薄膜以及平面基底上生长或沉积的多层复杂结构的折射率、消光系数、薄膜厚度,并在此基础上实现多层膜厚度、材料梯度、表面与界面粗糙度、结晶度、组分、材料的各向异性、表面形貌等的测量

主要技术指标: 测量光谱190nm~2100nm

安放地址: 余杭塘路388号

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准:



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