设备分类编码: 010803
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [信息科学与系统科学, 电子与通信技术]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 021-62511070-8402
电子邮箱: xyh8223@mail.sim.ac.cn
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 陈小刚
仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>扫描探针显微镜
规格型号: Q-SCOPE250
所属科研设施:
主要功能: 半导体专用
主要技术指标: 最大样品尺寸:150×150mm;最大样品厚度:50mm;Z轴分辨率:0.04nm。
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: