设备分类编码: 109900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0537-4456094

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通讯地址:

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联系人: 曹强

仪器所属类别: 核仪器>>其他>>其他

规格型号: LMBE-Ⅱ

所属科研设施:

主要功能: 1.外延室2.进样室3.微机4.四极质谱仪5.备件

主要技术指标: 1.外延室极限真空：2E-8Pa 2.进样室极限真空：1E-7Pa 3.真空室漏率：小于5E-8Pa.1/s 4.靶：4个可实现自转转速：5-60转/分，连续可调 5.靶与样品距离可调30-90mm 6.靶材最大直径：70mm 7.样品：可做x,y向扫描

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: