设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 殷伟君

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: MM3A-EM

所属科研设施:

主要功能: 材料分析

主要技术指标: 可使用离子束加工40nm及以下的半导体结构，同时可以利用电子束河离子束定点诱导沉积金属以及非金属的材料

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: