设备分类编码: 010303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 化学, 生物学, 药学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-34206997-109

电子邮箱: lmsun@sjtu.edu.cn

通讯地址: 上海市闵行区东川路800号

邮政编码: 200240

联系人: 孙立民

仪器所属类别: 分析仪器>>X射线仪器>>X射线能谱仪

规格型号: AXIS ULTRA DLD

所属科研设施:

主要功能: 主要用于固体材料的表面元素成份及价态的定性、半定量分析，固体表面元素组成的深度剖析及成像。

主要技术指标: 1.XPS 能量分辨率：0.48eV/(Ag 3d5/2） 0.68eV/(C 1s) 最小分析区域（收谱） <15μm 灵敏度：大面积 11，800kcps 110μm1，800kcps 27μm100kcps 成像空间分辨率：小于3μm 2.UPS 能量分辨率：Ag表面费米边在20%到80%结合能差不高于120meV 灵敏度：Ag 4d峰不低于1，000kcps 3.AES 灵敏度： 大于500kcps(10kV/5nA时Cu的LMM峰) 信噪比：500:1 4.SEM 分辨率：在10kV/5nA时优于100nm 在3kV/5nA时优于300nm

安放地址: 上海市闵行区东川路800号

服务内容: 物理、化学、生物等领域

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 网上申请

参考收费标准: 见网页