设备分类编码: 020104

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88366329

电子邮箱: xbhu@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 胡小波

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>力学性能测试仪器>>表面界面张力仪

规格型号: FM 100wafer

所属科研设施:

主要功能: 表面动态分析系统采用非接触光学测量技术，能在很短的时间内记录整个表面的数据，从而能快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行测量。现重点实验室承担大尺度SiC单晶的研制，衬底加工要求精度高，平整度和厚度偏差需小于5um。使用该设备可以有效地监控加工过程中衬底表面参数变化，并检测合格率，是加工过程中必备的检测设备。

主要技术指标: 精确度：50nm（2.0μ″）；重复性：15nm（0.6μ″）（1sigma）；解析度：5nm（0.2μ″）；动态测量范围：＞100um；测量时间：通常每一次测量5秒；测量数据：最小二乘方

安放地址: 山东大学

服务内容: 表面动态分析系统采用非接触光学测量技术，能在很短的时间内记录整个表面的数据，从而能快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行测量。现重点实验室承担大尺度SiC单晶的研制，衬底加工要求精度高，平整度和厚度偏差需小于5um。使用该设备可以有效地监控加工过程中衬底表面参数变化，并检测合格率，是加工过程中必备的检测设备。

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 根据国家有关规定收费。